【白光干涉儀系統構成】

    ☆光學照明系統采用鹵素光源、中心波長為576nm、光譜范圍340nm—780nm

    ☆光學成像系統采用無限遠光學成像系統、由顯微物鏡和成像目鏡組成

    ☆垂直掃描系統采用閉環反饋控制方式驅動顯微物鏡垂直移動、移動范圍100-1000μm、位置移動精度0.1nm

    ☆信號處理系統計算機和數字信號協處理器組成、采集系列原始圖像數據使用數字信號協處理器完成數據解析

【白光干涉儀工作原理】

    白光干涉儀是利用光學干涉原理研制開發的超精密表面輪廓測量儀器。照明光束經半反半透分光鏡分成兩束光，分別投射到樣品表面和參考鏡表面。從兩個表面反射的兩束光再次通過分光鏡后合成一束光，并由成像系統在CCD相機感光面形成兩個疊加的像。由于兩束光相互干涉，在CCD相機感光面會觀察到明暗相間的干涉條紋。干涉條紋的亮度取決于兩束光的光程差，根據白光干涉條紋明暗度以及干涉條文出現的位置解析出被測樣品的相對高度。