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白光干涉儀的特點(diǎn)和應(yīng)用領(lǐng)域
點(diǎn)擊次數(shù)：2717 更新時(shí)間：2016-01-26
白光干涉儀特點(diǎn)：
1、非接觸式測(cè)量：避免物件受損。
2、三維表面測(cè)量：表面高度測(cè)量范圍為1nm---200μm。
3、多重視野鏡片：方便物鏡的快速切換。
4、納米級(jí)分辨率：垂直分辨率可以達(dá)0.1nm。
5、高速數(shù)字信號(hào)處理器：實(shí)現(xiàn)測(cè)量?jī)H需幾秒鐘。
6、掃描儀：閉環(huán)控制系統(tǒng)。
7、工作臺(tái)：氣動(dòng)裝置、抗震、抗壓
8、測(cè)量軟件：基于windows/Mac/操作系統(tǒng)的用戶界面，強(qiáng)大而快速的運(yùn)算。
白光干涉儀應(yīng)用領(lǐng)域：
1、半導(dǎo)體晶片
2、液晶產(chǎn)品（CS,LGP,BIU）
3、微機(jī)電系統(tǒng)
4、光纖產(chǎn)品
5、數(shù)據(jù)存儲(chǔ)盤(pán)（HDD,DVD,CD）
6、材料研究
7、精密加工表面
8、生物醫(yī)學(xué)工程
